コンパクトプラズマ装置 PiPi

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研究相关用品・清洗器 コンパクトプラズマ装置 PiPi コンパクトプラズマ装置 PiPi 0932521801 紧凑型等离子体设备皮皮
¥3980000.00

コンパクトプラズマ装置 PiPiコンパクトプラズマ装置 PiPi

  • プラズマ:RIEモード
  • 电极構造:平行平板式
  • 高周波出力(max):200W
  • 发振周波数:13.56MHz
  • ステージ尺寸:130×130mm
  • 反応气体:Ar(1系統)
  • パージ气体:N2或ドライエアー
  • 反応气体流量计:フロー计量表
  • 制御方法:シーケンス制御
  • 真空ポンプ(別売):油回转135L/min(50Hz)
  • 电源:100V(15A)
  • 有机物の除去や树脂・膜类の表面改质、接着效果の改善、漏れ性向上、金属酸化物の除去など、研究・開发用途に最適です。
  • 場所をとらないコンパクト设计。
品名コンパクトプラズマ装置
型号PiPi
外形尺寸(mm)438×520×565H
特征
  • 有机物の除去や树脂・膜类の表面改质、接着效果の改善、漏れ性向上、金属酸化物の除去など、研究・開发用途に最適です。
  • 場所をとらないコンパクト设计。
规格
  • プラズマ:RIEモード
  • 电极構造:平行平板式
  • 高周波出力(max):200W
  • 发振周波数:13.56MHz
  • ステージ尺寸:130×130mm
  • 反応气体:Ar(1系統)
  • パージ气体:N2或ドライエアー
  • 反応气体流量计:フロー计量表
  • 制御方法:シーケンス制御
  • 真空ポンプ(別売):油回转135L/min(50Hz)
  • 电源:100V(15A)

コンパクトプラズマ装置 PiPi

紧凑型等离子体设备皮皮コンパクトプラズマ装置 PiPi

  • 改进质量树皮树脂 / 膜类型或从桌子表面去除打破粘附作用,泄漏,提高脱除金属氧化物的研究打开的已发布应用程序的理想选择。
  • 设计紧凑,节省空间。
  • 等离子: 反应离子刻蚀模式下
  • 细胞电极结构: 平行板型
  • 高频输出 (最大): 200 W
  • 《 振动频率: 13.56 MHz
  • 阶段完成: 130 × 130 毫米
  • 反应气身体四 (1 线)
  • 清除气身体: N2 或干燥的空气
  • 反应气的身体流规划: 规划流量
  • 如何控制: 顺序控制
  • 真空泵 (单独出售): 一次油转 135 L/min (50 Hz)
  • 电源: 100 V (15A)
产品名称紧凑型等离子体设备
类型号皮皮
大纲做 (毫米)438 × 520 × 565 H
特别:
  • 改进质量树皮树脂 / 膜类型或从桌子表面去除打破粘附作用,泄漏,提高脱除金属氧化物的研究打开的已发布应用程序的理想选择。
  • 设计紧凑,节省空间。
价格管制
  • 等离子: 反应离子刻蚀模式下
  • 细胞电极结构: 平行板型
  • 高频输出 (最大): 200 W
  • 《 振动频率: 13.56 MHz
  • 阶段完成: 130 × 130 毫米
  • 反应气身体四 (1 线)
  • 清除气身体: N2 或干燥的空气
  • 反应气的身体流规划: 规划流量
  • 如何控制: 顺序控制
  • 真空泵 (单独出售): 一次油转 135 L/min (50 Hz)
  • 电源: 100 V (15A)

商品属性コンパクトプラズマ装置 PiPi

商品属性
商品名称コンパクトプラズマ装置 PiPi コンパクトプラズマ装置
紧凑型等离子体设备皮皮 PiPi
商品编号0932521801
商品型号PiPi
商品分类研究相关用品・清洗器
商品简介
  • 有机物の除去や树脂・膜类の表面改质、接着效果の改善、漏れ性向上、金属酸化物の除去など、研究・開发用途に最適です。
  • 場所をとらないコンパクト设计。
  • プラズマ:RIEモード
  • 电极構造:平行平板式
  • 高周波出力(max):200W
  • 发振周波数:13.56MHz
  • ステージ尺寸:130×130mm
  • 反応气体:Ar(1系統)
  • パージ气体:N2或ドライエアー
  • 反応气体流量计:フロー计量表
  • 制御方法:シーケンス制御
  • 真空ポンプ(別売):油回转135L/min(50Hz)
  • 电源:100V(15A)

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商品编号 商品名
0932645801 PiPi 真空ポンプ付配管キット
0932645802 PiPi 耐食规格真空ポンプセット

规格与参数

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